Ein hochspezialisiertes Elektronen- und Ionenmikroskop hat Globalfoundries heute in dem neu errichteten Laborgebäude am Mierdel-Bau übergeben. Dieses Nano-Skalpell  Expida 1285 des Herstellers FEI Company hilft, Nanostrukturen auf großen Substratflächen wie zum Beispiel 300 mm Silizium-Wafern zu erzeugen und abzubilden. Um sich eine Vorstellung von einem Nanometer zu machen, vergleichen die Experten der FEI Company dies mit dem Wachstum eines Fingernagels je Sekunde.

Mit der im Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik der TU Dresden befindlichen Technik waren derartige Arbeiten bisher nicht möglich. „Die TU Dresden ist ein sehr wichtiger Forschungspartner für uns und die ganze Region“, sagte Dr. Rutger Wijburg, Geschäftsführer von Globalfoundries Dresden. „Wir freuen uns, mit diesem Gerät die hervorragende Arbeit des Instituts für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik der TU Dresden unterstützen zu können.“

Die TU Dresden freue sich über diese für die Forschung und Entwicklung wichtige Unterstützung, so Rektor Hans Müller-Steinhagen. „Die Inbetriebnahme des Elektronen- und Ionenmikroskops Expida 1285 am Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik unserer Universität ermöglicht nicht nur unseren Wissenschaftlern, Nano-Strukturen auf Silizium-Wafern besser zu untersuchen und zu verändern, sondern stärkt dadurch gleichermaßen das Miteinander von TU Dresden und Globalfoundries  sowie die Forschungs- und Entwicklungskraft im sogenannten Silicon Saxony“. Jeder achte der rund 3.700 Mitarbeiter bei dem Unternehmen ist Absolvent der Dresdner Universität.

Das könnte Sie auch interessieren …